| العنصر | الفهرس |
| النظام البصري | |
| البنية البصرية | نظام بصريات من نوع تفريغ كامل مع بنية Paschen Runge |
| درجة حرارة الغرفة | 35 درجة مئوية±0.5 درجة مئوية |
| نطاق الطول الموجي | 170-580nm |
| الطول البؤري | 400 مم |
| خط البشر | 3600 ملم 1/ملم |
| من النادر أن يتم توزيع الخط الطيفي من الدرجة الأولى | 1.2 نانومتر/مم |
| جهاز الكشف | صفيف CMOS خطي عالي الأداء متعدد الكتل |
| معدل نسبة الدقة | 10 مساءً/بكسل |
| طاولة الإثارة | |
| الغاز | الأرجون المندفع (99.999%) |
| معدل تدفق الأرجون |
عندما تكون متحمّسة: 3-5L/min
وقت الاستعداد: لا حاجة لحركة المرور الاحتياطية |
| الإلكترود | تقنية إلكترود التنجستن |
| تطهير | وظيفة التطهير التلقائي |
| Make Up (إنشاء) | تصميم التعويض الذاتي للتشويه الحراري |
| حلّل الفجوة | مرحلة العينة: 3.4 مم |
| مصباح الإثارة | |
| النوع | HEPS |
| التردد | 1000 هرتز |
| تيار التفريغ | 400A |
| تقنية خاصة | تحسين تصميم معلمات التفريغ |
| ما قبل الاحتراق | تقنية ما قبل الاحتراق عالية الطاقة |
| المعالج | الحصول على صور عالية السرعة ومزامنة البيانات ومعالجتها |
| نظام جمع البيانات | |
| الواجهة | إرسال بيانات Ethernet استنادًا إلى DM9000A |
| أدخل | 220VAC 50/60 هرتز |
| متطلبات الطاقة والبيئة | |
| الطاقة | الحد الأقصى: 700 واط في وضع الاستعداد: 40 واط |
| درجة حرارة التشغيل | 10-35 درجة مئوية (درجة الحرارة ≥5 درجات مئوية) |
| رطوبة التشغيل | 20-85% |