العنصر | الفهرس |
النظام البصري | |
البنية البصرية | نظام بصريات من نوع تفريغ كامل مع بنية Paschen Runge |
درجة حرارة الغرفة | 35 درجة مئوية±0.5 درجة مئوية |
نطاق الطول الموجي | 170-580nm |
الطول البؤري | 400 مم |
خط البشر | 3600 ملم 1/ملم |
من النادر أن يتم توزيع الخط الطيفي من الدرجة الأولى | 1.2 نانومتر/مم |
جهاز الكشف | صفيف CMOS خطي عالي الأداء متعدد الكتل |
معدل نسبة الدقة | 10 مساءً/بكسل |
طاولة الإثارة | |
الغاز | الأرجون المندفع (99.999%) |
معدل تدفق الأرجون |
عندما تكون متحمّسة: 3-5L/min
وقت الاستعداد: لا حاجة لحركة المرور الاحتياطية |
الإلكترود | تقنية إلكترود التنجستن |
تطهير | وظيفة التطهير التلقائي |
Make Up (إنشاء) | تصميم التعويض الذاتي للتشويه الحراري |
حلّل الفجوة | مرحلة العينة: 3.4 مم |
مصباح الإثارة | |
النوع | HEPS |
التردد | 1000 هرتز |
تيار التفريغ | 400A |
تقنية خاصة | تحسين تصميم معلمات التفريغ |
ما قبل الاحتراق | تقنية ما قبل الاحتراق عالية الطاقة |
المعالج | الحصول على صور عالية السرعة ومزامنة البيانات ومعالجتها |
نظام جمع البيانات | |
الواجهة | إرسال بيانات Ethernet استنادًا إلى DM9000A |
أدخل | 220VAC 50/60 هرتز |
متطلبات الطاقة والبيئة | |
الطاقة | الحد الأقصى: 700 واط في وضع الاستعداد: 40 واط |
درجة حرارة التشغيل | 10-35 درجة مئوية (درجة الحرارة ≥5 درجات مئوية) |
رطوبة التشغيل | 20-85% |