| 1.Maximaltemperatur | 750ºC |
| 2.Temperaturregelung Genauigkeit | ±1ºC |
| 3.Ofentemperatur Gleichmäßigkeit |
Volllast 15 Punkte 400±8 C,
Volllast 15 Punkte 600±5 C. |
| 4.Ultimate Vakuum | 6,7×10^4PA |
| 5.Druckanstiegsrate | 0,4Pa/h |
| 6.Temperaturregelung einzelne Zone | Mehrere Zonen |
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