Zeer nauwkeurige polijstbewerking ZrO2-wafer Zirconia-keramisch substraat
Introductie van keramische Zirconia-substraten
In termen van functionele keramiek worden zirkonia-keramische substraten gebruikt als inductieverwarmingspijpen, vuurvaste materialen en verwarmingselementen vanwege hun uitstekende hoge temperatuurbestendigheid.
Zirkonia keramiek heeft gevoelige
elektrische
parameters, hoge
taaiheid
, hoge
buigsterkte
en hoge
slijtvastheid
, uitstekende
warmte-isolatie
prestaties, en de
thermische uitzettingscoëfficiënt
dicht bij die van staal. Ze worden voornamelijk gebruikt in zuurstofsensoren, thermische substraten voor brandstofcellen, vaste oxide brandstofcellen en verwarmingselementen met hoge temperatuur en andere velden.
Waarom gepolijst?
Drie belangrijke voordelen van het lappen en polijsten voor het keramische substraat:
1. Er kan een fijner patroon worden verkregen.
2. Een betere parallelliteit van de boven- en ondervlakken (diktetolerantie) kan worden bereikt.
3. Er kan een dunnere metallisatielaag worden verkregen.
Materiaaleigenschappen van
keramische Zirconia-substraten
Zirconia-keramisch substraat
|
Item
|
Eenheid
|
ZrO2
|
Mechanische
eigenschappen
|
Kleur
|
/
|
Wit
|
Dichtheid
|
g/cm3
|
≥6
|
Waterabsorptie
|
%
|
0
|
Hardheid van Vickers
(
belasting 4,9N)
|
GPA
|
11
|
Jong Mogulus
|
GPA
|
200
|
Flexural-sterkte
|
MPa
|
>800
|
Taaiheid van breuk
|
MPa
·
m1
/2
|
5.0
|
Thermische
eigenschappen
|
Max. Bedrijfstemperatuur (niet belast)
|
C
|
1000
|
CTE (coëfficiënt van
thermische uitzetting)
(
20-800ºC)
|
1×
10
-6
/ºC
|
7.8
|
Thermische schokbestendigheid
|
≥
10
keer
|
Geen
rek
|
Thermische geleidbaarheid
(25 ºC)
|
W/m·K
|
>3
|
Specifieke warmte (25 ºC)
|
J/kg·K
|
460
|
Elektrische
eigenschappen
|
Volumeweerstand
(
25 ºC)
|
In de ruimte
·
|
≥1013
|
Diëlektrische sterkte
|
KV/mm
|
≥10
|
Diëlektrische constante
(
25ºC, 1MHz )
|
(E)
|
33
|
Diëlektrische verlieshoek
(
25ºC, 1MHz )
|
×10-4
|
≤16
|
Productieproces
van keramische Zirconia-substraten
Productinspectie