Modalità | LH-1800 | LH-2000 | LH-3000 | LHW-2000 | LHW-3000 | LHW-4000 | LHW-5000 |
Dimensione camera a vuoto | φ1800x2000 | φ2000x2000 | φ3000x3000 | φ2000x6000 | φ3000x6000 | φ4000x8000 | φ5000x10000 |
Sistema a vuoto | Pompa meccanica+pompa radice+pompa a diffusione/pompa molecolare turbo+pompa di mantenimento | ||||||
Sistema di rivestimento | sorgente di evaporazione dell'arco, alimentatore dedicato agli ioni ausiliari di rivestimento | ||||||
Sistema di gonfiaggio | Flussometro di massa | Flussometro di massa | Flussometro di massa | Flussometro di massa | Flussometro di massa | Flussometro di massa | Flussometro di massa |
Modalità di controllo | Manuale o automatico | Manuale o automatico | Manuale o automatico | Manuale o automatico | Manuale o automatico | Manuale o automatico | Manuale o automatico |
Vuoto finale | 5,0x10 -4 Pa | 5,0x10 -4 Pa | 5,0x10 -4 Pa | 5,0x10 -4 Pa | 5,0x10 -4 Pa | 5,0x10 -4 Pa | 5,0x10 -4 Pa |
Nota | I parametri della macchina sopra indicati sono solo di riferimento, specifici in base alle esigenze specifiche del cliente in termini di progettazione pratica del processo. |