Mode | LH-1800 | LH-2000 | LH-3000 | LHW-2000 | LHW-3000 | LHW-4000 | LHW-5000 |
La dimensión de la cámara de vacío | Φ1800x2000 | Φ2000x2000 | Φ3000x3000. | Φ2000x6000. | Φ3000x6000. | Φ4000x8000 | Φ5000x10000 |
Sistema de vacío. | Bomba mecánica+bomba Roots+/bomba de difusión de la turbo bomba molecular+mantiene la bomba | ||||||
Sistema de recubrimiento | Evaporación de arco de origen,auxiliar de recubrimiento de fuente de alimentación exclusiva de iones | ||||||
Sistema de inflado | Medidor de flujo de masa | Medidor de flujo de masa | Medidor de flujo de masa | Medidor de flujo de masa | Medidor de flujo de masa | Medidor de flujo de masa | Medidor de flujo de masa |
Modo de control | Manual o automático | Manual o automático | Manual o automático | Manual o automático | Manual o automático | Manual o automático | Manual o automático |
Vacío final | 5.0X10 -4 Pa | 5.0X10 -4 Pa | 5.0X10 -4 Pa | 5.0X10 -4 Pa | 5.0X10 -4 Pa | 5.0X10 -4 Pa | 5.0X10 -4 Pa |
Comentario | Por encima de los parámetros de máquina únicamente de referencia, de acuerdo a los clientes" requisito especial de proceso práctico de diseño. |