| Nome | O SRP-4 (Sonda de superfície para a espessura do Cooper) |
| Cooper química | 10uin-500uin(0,25um-12.7um) |
| Eletrodeposição cooper | 0.1Mil-6mil(2.5Um-152um) |
| Linha de teste de cooper faixa de linha | 8mil-250mil(203um-6350um) |
| Exactidão | ±1% (±0.1Um) Consulte a calibração |
| Exactidão |
Chemical cooper:0,2% da norma
Eletrodeposição cooper: 0,5% da norma |
| Resolução |
0,01 mil>=1mil, 0,001 mils <1 mil
0.1Μm ≥10μm e 0,01 μm < 10μm, 0,001μm < 1 μm |