| المواصفات | 99.999% |
| أكسجين + أرجون | ≤ 1 جزء في المليون |
| النيتروجين | ≤ 2 جزء في المليون |
| الهيدروجين | ≤ 0.5 جزء في المليون |
| أول أكسيد الكربون | ≤ 0.5 جزء في المليون |
| ثاني أكسيد الكربون | ≤ 0.5 جزء في المليون |
| الميثان | ≤ 0.5 جزء في المليون |
| OHC | ≤ 2 جزء في المليون |
| الرطوبة | ≤ 3 صفحات في الدقيقة |
| الحموضة مثل HF | ≤ 0.1 جزء في المليون |