المواصفات | 99.999% |
أكسجين + أرجون | ≤ 1 جزء في المليون |
النيتروجين | ≤ 2 جزء في المليون |
الهيدروجين | ≤ 0.5 جزء في المليون |
أول أكسيد الكربون | ≤ 0.5 جزء في المليون |
ثاني أكسيد الكربون | ≤ 0.5 جزء في المليون |
الميثان | ≤ 0.5 جزء في المليون |
OHC | ≤ 2 جزء في المليون |
الرطوبة | ≤ 3 صفحات في الدقيقة |
الحموضة مثل HF | ≤ 0.1 جزء في المليون |