Produktbeschreibungen
Dichlorsilan
ist ein Siliziumvorläufer für epitaxiales Silizium, Siliziumgermanium, Siliziumnitrid,
Siliziumoxid, Siliziumkarbid und Metallsilizid dünne Filme.
Produktdetails
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Produktname
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Dichlorsilan
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Typ
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SiH2Cl2
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Reinheit
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n3,0
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Zylinderspezifikation
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40L
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Füllelemente (20?C)
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37kg
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Ventiltyp
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DISS636
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Anwendungen
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Halbleiter: Verwendet bei der Herstellung von Epitaxietabletten, Lichtwellenleiter wichtige Rohstoffe, direkt beeinflussen die Leistung der integrierten Schaltungen, Integration, Ausbeute.
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Produktspezifikation
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Elemente
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Kompositionen
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Symbole
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Wert
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Einheiten
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Reinheit (GC)
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SiH2Cl2
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≥
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99,9
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%
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Gasverunreinigungen
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O2 + Ar
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≤
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1
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Ppm
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N2
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≤
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1
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Ppm
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CO
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≤
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1
|
Ppm
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CO2
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≤
|
1
|
Ppm
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Unreinheiten des Spenders
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P
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≤
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0,20
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NG/g
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Wie
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≤
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0,05
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NG/g
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Verunreinigungen akzeptieren
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B
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≤
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0,20
|
NG/g
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Al
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≤
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0,10
|
NG/g
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Metallverunreinigungen
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Cr
|
≤
|
0,50
|
NG/g
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Fe
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≤
|
1,00
|
NG/g
|
|
Ni
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≤
|
0,50
|
NG/g
|
|
Cu
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≤
|
0,50
|
NG/g
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Zn
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≤
|
0,50
|
NG/g
|
|
Co
|
≤
|
0,20
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NG/g
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Entfällt
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≤
|
0,50
|
NG/g
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Pakettyp
Unternehmensinformationen
Suzhou Xunhe Chemical Co., Ltd wird von ausgebildetem Personal besetzt, kombinieren viele Jahre Erfahrung in der Gasindustrie. Wir liefern Flaschengas, elektronisches Gas, etc., und die Gashalter, Panel, Ventile und Armaturen und andere Ausrüstung, Teile und Engineering-Dienstleistungen für unsere Kunden in China und weltweit; Die Produkte sind in verschiedenen industriellen Bereichen, wie Halbleiterchip, Solarzelle, LED, TFT-LCD, Glasfaser, Glas, Laser, Medizin, etc., unsere Mission ist es, mit unseren globalen Kunden zu unterstützen, Lösungen und Qualitätsprodukte, die innovativ, zuverlässig und sicher sind, bieten.
Zu unseren Produkten gehören vor allem: H2, O2, N2, Ar, CO2, Propan, Acetylen, Helium, Laser-Mischgas, SiH4, Sih2cl2, SiHCL3, SiCL4, NH3, CF4, NF3, SF6, HCL, N2O, Doping-Mischgas (TMB, PH3, B2H6) und andere elektronische Gase.