Spezifikation:
Trichlorsilan
ist ein Siliziumvorläufer für epitaxiale siliziumhaltige dünne Schichten, insbesondere für die
Vorbereitung der Startwafer.
Technische Daten:
Reinheit %:
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≥99,85
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Widerstand:
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≥ 300 Ohm-cm
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Bor:
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≤ 0,1 ppba Silikon
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Gesamtkohlenstoff:
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≤ 5 ppma
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Eisen:
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≤ 5 pro Person
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Andere Chlorosilan :
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≤ 500 ppm
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Zylinderzustand @ 21,1 C :
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Flüssigkeit
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Grenzwerte Für Brennbare Stoffe In Der Luft :
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7-83%
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Temperatur der automatischen Zündung (C):
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182
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Molekulargewicht (g/mol):
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135,45
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Spezifisches Gewicht (Luft =1):
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4,67
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Kritische Temperatur ( oC ):
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242,5
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Paketart:
Unternehmensinformationen:
Suzhou Xunhe Chemical Co., Ltd wird von ausgebildetem Personal besetzt, kombinieren viele Jahre Erfahrung in der Gasindustrie. Wir liefern Flaschengas, elektronisches Gas, etc., und die Gashalter, Panel, Ventile und Armaturen und andere Ausrüstung, Teile und Engineering-Dienstleistungen für unsere Kunden in China und weltweit; Die Produkte sind in verschiedenen industriellen Bereichen, wie Halbleiterchip, Solarzelle, LED, TFT-LCD, Glasfaser, Glas, Laser, Medizin, etc., unsere Mission ist es, mit unseren globalen Kunden zu unterstützen, Lösungen und Qualitätsprodukte, die innovativ, zuverlässig und sicher sind, bieten.
Zu unseren Produkten gehören vor allem: H2, O2, N2, Ar, CO2, Propan, Acetylen, Helium, Laser-Mischgas, SiH4, Sih2cl2, SiHCL3, SiCL4, NH3, CF4, NF3, SF6, HCL, N2O, Doping-Mischgas (TMB, PH3, B2H6) und andere elektronische Gase.