| Element | Index |
| Optisches System | |
| Optische Struktur | Das Paschen Runge Konstruktions-Vollvakuum-Optiken-System |
| Raumtemperatur | 35ºC±0.5ºC |
| Wellenlängenbereich | 170-580nm |
| Brennweite | 400mm |
| Gitterlinie | 3600 m1/mm |
| Spektrale Liniendispersion erster Ordnung selten | 1, 2nm/mm |
| Detektor | Hochleistungs-lineares CMOS-Array mit mehreren Blöcken |
| Durchschnittliches Auflösungsverhältnis | 10pm/Pixel |
| Tabelle der Anregung | |
| Gas | Rauschendes Argon (99, 999 %) |
| Argon-Durchflussrate |
Bei Anregung: 3-5L/min
Standby-Zeit: Kein Standby-Verkehr erforderlich |
| Elektrode | Wolfram-Elektrodentechnologie |
| Löschen | Automatische Spülfunktion |
| Make-up | Konstruktion zur automatischen Kompensation der thermischen Verformung |
| Analysieren Sie die Lücke | Probenbühne: 3, 4 mm |
| Anregungslicht | |
| Typ | HEPS |
| Frequenz | 100-1000HZ |
| Entladestrom | 1-400A |
| Spezielle Technologie | Optimierung der Auslegung der Entladungsparameter |
| Vorverbrennung | Hochenergetische Vorverbrennungstechnologie |
| Prozessor | High-End-ARM, Hochgeschwindigkeits-Datensynchronisierung Erfassung und Verarbeitung |
| Datenerfassungssystem | |
| Schnittstelle | Ethernet-Datenübertragung auf Basis von DM9000A |
| Eingabe | 220Vac 50/60Hz |
| Die Anforderungen an Strom und Umwelt | |
| Leistung | Maximal: 700W Standby: 40W |
| Betriebstemperatur | 10-35ºC(Temperatur ≥5 C) |
| Luftfeuchtigkeit bei Betrieb | 20-85% |