Elementos de prueba | Unidades | Requisitos de calidad | Resultados de la prueba |
CF4 | ppm | <0,5 | <0,01 |
O2 | ppm | <0,5 | <0,01 |
N2 | ppm | <1 | 0,03 |
CO | ppm | <0,5 | <0,02 |
CO2 | ppm | <0,5 | <0,01 |
SiF4 | ppm | <0,5 | <0,1 |
SF6 | ppm | <0,5 | <0,1 |
HF | ppm | <5 | 0,19 |
Al | ppb | ≤10 | <0,020 |
Como | ppb | ≤10 | <0,001 |
B | ppb | ≤10 | <0,005 |
Aprox | ppb | ≤5 | <0,200 |
CD | ppb | ≤2 | <0,001 |
CR | ppb | ≤10 | <0,020 |
Fe | ppb | ≤10 | <0,007 |
K | ppb | ≤5 | <0,100 |
MN | ppb | ≤10 | <0,001 |
Na | ppb | ≤5 | <0,040 |
Th | ppb | ≤0,1 | <0,001 |
TI | ppb | ≤10 | <0,002 |
Li | ppb | ≤10 | <0,002 |
U | ppb | ≤0,05 | <0,001 |
Zn | ppb | ≤10 | <0,005 |
Si | ppb | ≤10 | <0,100 |
PB | ppb | ≤10 | <0,001 |
P | ppb | ≤2 | <0,300 |
Mg | ppb | ≤10 | <0,020 |
Ni | ppb | ≤20 | <0,030 |
Cu | ppb | ≤5 | <0,005 |
Mo | ppb | ≤10 | <0,001 |
Impurezas totales de otros metales | ppb | ≤500 | <0,0010 |
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