| Elementos de prueba | Unidades | Requisitos de calidad | Resultados de la prueba |
| CF4 | ppm | <0,5 | <0,01 |
| O2 | ppm | <0,5 | <0,01 |
| N2 | ppm | <1 | 0,03 |
| CO | ppm | <0,5 | <0,02 |
| CO2 | ppm | <0,5 | <0,01 |
| SiF4 | ppm | <0,5 | <0,1 |
| SF6 | ppm | <0,5 | <0,1 |
| HF | ppm | <5 | 0,19 |
| Al | ppb | ≤10 | <0,020 |
| Como | ppb | ≤10 | <0,001 |
| B | ppb | ≤10 | <0,005 |
| Aprox | ppb | ≤5 | <0,200 |
| CD | ppb | ≤2 | <0,001 |
| CR | ppb | ≤10 | <0,020 |
| Fe | ppb | ≤10 | <0,007 |
| K | ppb | ≤5 | <0,100 |
| MN | ppb | ≤10 | <0,001 |
| Na | ppb | ≤5 | <0,040 |
| Th | ppb | ≤0,1 | <0,001 |
| TI | ppb | ≤10 | <0,002 |
| Li | ppb | ≤10 | <0,002 |
| U | ppb | ≤0,05 | <0,001 |
| Zn | ppb | ≤10 | <0,005 |
| Si | ppb | ≤10 | <0,100 |
| PB | ppb | ≤10 | <0,001 |
| P | ppb | ≤2 | <0,300 |
| Mg | ppb | ≤10 | <0,020 |
| Ni | ppb | ≤20 | <0,030 |
| Cu | ppb | ≤5 | <0,005 |
| Mo | ppb | ≤10 | <0,001 |
| Impurezas totales de otros metales | ppb | ≤500 | <0,0010 |
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