| Modalità di lavoro | Filettatura FM, contatto opzionale, attrito, fase, magnetica o elettrostatica |
| Dimensioni | φ≤90 mm, a≤20 mm |
| Intervallo di scansione | 20 Mmin direzione XY, 2 Mm in direzione Z |
| Risoluzione di scansione | 0, 2 nm in direzione XY, 0, 05 nm in direzione Z |
| Movementrange del campione | ±6, 5 mm |
| L'ampiezza di impulso del motore si avvicina | 10±2 ms. |
| Punto di campionamento dell'immagine | 256×256, 512×512 |
| ingrandimento ottico | 4X, risoluzione ottica 2.5 Mm |
| Velocità di scansione | 0, 6 Hz~4, 34 Hz, angolo di scansione 0°~360° |
| Controllo di scansione | D/A a 18 bit in direzione XY, D/A 16 bit in direzione Z |
| Campionamento dei dati | Campionamento sincrono MULTICANALE A/D a 14 bit/D, doppio |
| Feedback | Feedback digitale DSP |
| Frequenza di campionamento feedback | 64, 0 KHz |
| Interfaccia computer | USB2.0 |
| Ambiente operativo | Windows98/2000/XP/7/8. |