Mode
Dimension |
HCCA-1215 | HCCA-1612 | HCCA-1619 |
1250*1500mm | 1600*1200mm | 1600*1900mm | |
Source d'énergie | Pouvoir d'arc électrique, pouvoir de magnétron de C.C, pouvoir de magnétron de MF, pouvoir de filament, pouvoir de pouls, source ionisée linéaire | ||
Contrôle de gaz de processus | Débitmètre de qualité + soupape en céramique d'électromagnétisme | ||
Structure de puits à dépression | Vertical choisir la porte (latérale), postposition de système de pompe, double refroidissement par eau | ||
Nettoyer à l'aspirateur le système |
Pompe de la pompe +Mechanical de la pompe +Roots de molécule (PA de 5.0*10 -5)
Pompe de la pompe +Mechanical de la pompe de diffusion +Roots (PA de 5.0*10 -4) |
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Température de cuisson d'objet |
La température normale au contrôle de 350 centi-degrés PID, chauffage de rayonnement |
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Mode de mouvement d'objet | Contrôle de fréquence public de rotation : 0-20 rotation par minute | ||
Mode de mesure | Mesure de vide composée d'étalage de numéro : de l'atmosphère à la PA de 1.0*10 -5 | ||
Mode de contrôle | Manuel/choix d'Automatic/PC/PLC + de HMI/PC quatre de mode de contrôle | ||
Remarque | Nous pouvons concevoir la dimension du matériel selon la condition spéciale de la technique du propriétaire |