| المواصفات | الطراز | L3-20 | L3-30 | L3-50 | L3-100 |
| المواصفات | تسخين زيت السيليكون | زيت السيليكون أو التسخين الكهربائي | زيت السيليكون أو التسخين الكهربائي | تسخين زيت السيليكون | |
| السعة | منطقة مجففة | 0.2 | 0.4 | 0.52 | 1 |
| إعادة تعبئة المياه | 4 كجم/دفعة | 6 كجم/دفعة | 10 كجم/دفعة | 23 كجم/دفعة | |
| محلول الصفيحة | 3 لترات | 5 لترات | 6 لترات | 15 لترًا | |
| زجاجات الدواء/12 مم | 1300/فرع | 2600/فرع | 3690/فرع | 7380/فرع | |
| زجاجات الدواء/16 مم | 810/فرع | 1620/فرع | 1940/فرع | 3880/فرع | |
| زجاجات الدواء/22 مم | 430/فرع | 860/فرع | 1020/فرع | 2040/فرع | |
| حجم الأرضية طويل/مم | 265 | 300 | 450 | 480 | |
| عرض/مم لحجم الأرضية | 395 | 345 | 320 | 360 | |
| تباعد الرقاقات | 50 مم | 50 مم | 70 مم | 100 مم | |
| عدد الطبقات | 2+1/قطعة | 4+1/قطعة | 4+1/قطعة | 6+1/قطعة | |
| المعلمات الأساسية | درجة حرارة الطبقة | -50 درجة مئوية إلى 70 درجة مئوية (بدون حمل) | -70 درجة مئوية (بدون حمل) | -50 درجة مئوية إلى 60 درجة مئوية (بدون حمل) | -55 درجة مئوية-60 درجة مئوية (بدون حمل) |
| الحد الأدنى لدرجة حرارة الانحشار في البرد | -70 درجة مئوية (بدون حمل) | -70 درجة مئوية (بدون حمل) | 80 درجة مئوية (بدون حمل) | 80 درجة مئوية (بدون حمل) | |
| شفط مثالي | 2PA (بدون حمل) | ||||
| طريقة التبريد | تبريد الهواء | ||||
| وضع إزالة الصقيع | إزالة الصقيع من على درجة الحرارة العالية | ||||
| الحصة الأساسية | بيئة تخزين النقل | -40 درجة مئوية-50 درجة مئوية | |||
| الرطوبة النسبية | ≤70% | ||||
| درجة حرارة التشغيل | 10ºC-35 ºC | ||||
| بيئة العمل | لا يوجد غبار موصل، ومتفجرات، ومآكلة، وغاز، وتداخل قوي للمجال الكهرومغناطيسي | ||||
| الأبعاد (مم) | 594*718*1400 | 880*735*1320 | 1100*812*1425 | 1400*850*1725 | |
| مضخة تفريغ مطابقة | الدفع الرباعي المنخفض/المنخفض | 6 لترات/ثانية | 8 لترات/ثانية | 16 لترًا/ثانية | |
| تكوين الأجهزة الرئيسية | الوزن الإجمالي | 200 كجم | 400 كجم | 500 كجم | 600 كم/ساعة |
| الطاقة الإجمالية | 3.0 كجم | 4.5 كيلو واط | 5.5KW | 6.5 كجم | |
| المواد الرئيسية | 304 فولاذ لا يصدأ | ||||
| مادة نافذة المراقبة | أكريليك | ||||
| الطاقة الرئيسية | 220 فولت/50 هرتز | ||||